mems压力传感器在汽车上的应用概况——赛斯维传感器网-ag捕鱼王官方网站

　　汽车电子控制系统一直被认为是mems压力传感器的主要应用领域之一，可用于测量进气歧管压、大气压、油压、轮胎气压等。最流行的汽车mems压力传感器采用压阻式力敏原理，这是现有几种力敏传感器中用量最大的一种，开发出几代产品，年产量为数千万只。这种传感器用单晶硅作材料，以mems技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成4只应变电阻，再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度，其输出大多为0~5v模拟量，测量范围取决于力敏膜片的厚度，一枚晶片上可同时制作许多个力敏芯片，易于批量生产，力敏芯片受温度影响性能采用调理电路补偿。    

　　 汽车用压力传感器被称为是军品的质量、民品的价格。其环境实验要求是极为严格的。封装好的传感器通过严格的环境测试后，一般能保证0.1%~0.3%f.s.的稳定性，即使经受最严格的长时间测试，仍能维持1%f.s.的稳定性。信号调理电路和标定及封装也是生产中的极其关键技术，科技含量超过力敏芯片的制作。例如，测量燃油喷射的压力传感器长期与液态燃料接触，并承受高压，组装固定和安装尺寸的设计，涉及到大量的结构分析、机械应力测试、介质暴露测试、电路修正等技术。    

　　汽车电控燃油喷射系统efi要使用多重压力map传感器，监测发动机进气歧绝对压力，提高其动力性能，降低油耗，减少废气排放。微型硅压阻式mems压力传感器可用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器，汽车空调压缩机中的压力测量也是mems的一个很大市场。除现有的各种应用外，另一个极具市场前景的是轮胎气压自动监测系统，mems压力传感器适合于任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据，并用特定的代码发送出来。　

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