- 压阻加速度传感器的典型结构
- 来源：ag捕鱼王官方网站 发表于 2015/7/17
针对不同的应用有许多类型的。
弯曲梁型
这种类型设计的优点是简便而且坚固，缺点是对于给定的共振频率其灵敏度相对较低，这是因为大部分应变能都传到悬臂梁上而不是悬臂梁上的应变计。
压力集中限动和阻尼型
为了设计出比弯曲梁型加速度传感器具有更高的灵敏度和共振频率的加速度传感器，提出了在压阻元件上施加大部分应变能的设计。这种方法的灵敏度适用于测量小于100g时的加速度。为了抵抗环境冲击，设计中加入了过载限动器。为了提供宽频带响应，在机械系统周围添加硅油以增加阻尼。这些设计的优点在于具有较高的灵敏度，而且在特定灵敏度下具有宽频响应和过量程保护；缺点在于设计复杂和温度范围有限。这种设计的高灵敏度来源于较大的质量块上，其应变能力大部分都作用在应变计上（中性轴上较细的部分相当于铰链，其刚度非常小）。这种设计的宽频带响应来源于相对较高阻尼（临界阻尼的0.7倍），这种阻尼允许加速度ag捕鱼王官方网站在共振频率附近处使用，而且还不会产生过度增大的灵敏度。过量程保护由限动器提供，其设计目的是在应变计应力过大之前中止质量块的运动。在敏感压阻加速度传感器中过量程保护是必不可少的，如果没有过量程保护，则一般的运送和操作过程都可能使其损坏。阻尼流体的粘度会随温度而变化，由此阻尼系数会随温度而产生明显变化。只有在接近室温条件下阻尼才是0.7倍的临界阻尼。
微机械型
微机械型加速度ag捕鱼王官方网站的整个工作装置（质量块、弹簧和支架）都是由一个单晶硅蚀刻而成，这个过程就是所谓的微机械加工。该加工过程可以制造出一个小而且坚固的装置。微机械型加速度传感器额优点是体积小、共振频率高、坚固性好以及频率范围宽。这种类型的加速度测量范围很大，可从低于10g到高于200000g，而且将应变计粘贴在被测结构上时无需粘合剂，这使系统具有更好的稳定性。
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